Inpower Dry pompi tal-vakwu semikondutturi huma pompi speċjalizzati użati fl-industrija tas-semikondutturi biex joħolqu ambjent vakwu nadif u niexef. Dawn il-pompi huma essenzjali għal proċessi bħal depożizzjoni tal-fwar kimiku, depożizzjoni fiżika tal-fwar, impjantazzjoni tal-joni, u inċiżjoni.
Parametri tekniċi:
|
Mudell |
GXR110 |
GXR180 |
GXR320 |
GXR400 |
|
|
VELOĊITÀ (50Hz) |
m³/h |
110 |
180 |
320 |
400 |
|
Vakwu Aħħari (50Hz) |
Pa |
Inqas minn jew ugwali għal 1 |
Inqas minn jew ugwali għal 1 |
Inqas minn jew ugwali għal 1 |
Inqas minn jew ugwali għal 1 |
|
QAWWA (50Hz) |
Kw |
4.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
|
Tkessiħ sfurzat taċ-ċirkolazzjoni interna |
GXR huwa mgħammar b'apparat ta 'tkessiħ ta' ċirkolazzjoni interna sfurzata, b'temperatura massima tal-ġisem tal-pompa ta '<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Vultaġġ u frekwenza |
Adatta għal vultaġġ u frekwenza globali |
||||
|
Interfaċċja tad-Dħul/Ħruġ |
Interface tal-flanġ customizable/interface KF |
||||
|
Ilma |
Pressjoni (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Fluss L/min |
3-5 |
||||
|
Tem (grad) |
10-30 |
||||
|
N2 |
Pressjoni (MPa) |
0.05-0.1 |
|||
|
Fluss L/min |
6-20 |
||||
|
Storbju |
Db |
Inqas minn jew ugwali għal 68 |
Inqas minn jew ugwali għal 68 |
Inqas minn jew ugwali għal 70 |
Inqas minn jew ugwali għal 70 |
|
Piż |
Kg |
280 |
360 |
360 |
420 |
|
Monitoraġġ u Kontroll |
Pannell tal-kontroll/wiri diġitali bil-vakwu/monitoraġġ tat-temperatura/monitoraġġ tal-kurrent/allarm tal-ħsara/servizzi tan-netwerk oħra |
||||
|
Mudell |
GXR180/800 |
GXR180/1300 |
GXR180/1800 |
GXR450/2600 |
|
|
VELOĊITÀ (50Hz) |
m³/h |
800 |
1300 |
1800 |
2600 |
|
Vakwu Aħħari (50Hz) |
Pa |
Inqas minn jew ugwali għal 0.1 |
Inqas minn jew ugwali għal 0.1 |
Inqas minn jew ugwali għal 0.1 |
Inqas minn jew ugwali għal 0.1 |
|
QAWWA (50Hz) |
Kw |
7.5 |
7.5 |
9 |
15 |
|
Tkessiħ sfurzat taċ-ċirkolazzjoni interna |
GXR huwa mgħammar b'apparat ta 'tkessiħ ta' ċirkolazzjoni interna sfurzata, b'temperatura massima tal-ġisem tal-pompa ta '<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Vultaġġ u frekwenza |
Adatta għal vultaġġ u frekwenza globali |
||||
|
Interfaċċja tad-Dħul/Ħruġ |
Interface tal-flanġ customizable/interface KF |
||||
|
Ilma |
Pressjoni (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Fluss L/min |
0.1 |
||||
|
Tem (grad) |
3-5 |
||||
|
N2 |
Pressjoni (MPa) |
10-30 |
|||
|
Fluss L/min |
0.05-0.1 |
||||
|
Storbju |
Pressjoni (MPa) |
6-20 |
|||
|
Piż |
Db |
Inqas minn jew ugwali għal 70 |
Inqas minn jew ugwali għal 70 |
Inqas minn jew ugwali għal 72 |
Inqas minn jew ugwali għal 72 |
|
Monitoraġġ u Kontroll |
Kg |
600 |
720 |
800 |
1350 |
|
VELOĊITÀ (50Hz) |
Pannell tal-kontroll/wiri diġitali bil-vakwu/monitoraġġ tat-temperatura/monitoraġġ tal-kurrent/allarm tal-ħsara/servizzi tan-netwerk oħra |
||||
Karatteristika:
Operazzjoni Ħieles mill-Kontaminazzjoni:
Pompi bil-kamin niexfa ma jeħtieġu l-ebda lubrikazzjoni jew fluwidi tas-siġillar, u jeliminaw ir-riskju ta 'kontaminazzjoni fil-kamra tal-vakwu. Dan huwa kruċjali biex tinżamm il-purità tal-ambjent tal-manifattura tas-semikondutturi.
Veloċità Għolja tal-Ippumpjar:
Il-pompi bil-kamin niexfa huma kapaċi jiksbu veloċitajiet ta 'ippumpjar għoljin, u jagħmluhom adattati tajjeb għal applikazzjonijiet fejn hija meħtieġa evakwazzjoni rapida tal-gassijiet, bħal fl-ipproċessar tas-semikondutturi.
Rekwiżiti ta' Manutenzjoni Baxxa:
Meta mqabbla ma 'pompi ssiġillati biż-żejt, pompi bil-kamin niexfa għandhom ħtiġijiet ta' manutenzjoni aktar baxxi peress li ma jiddependux fuq iż-żejt għat-tħaddim. Dan iwassal għal tnaqqis fil-ħin ta' waqfien u ffrankar ta' spejjeż matul iċ-ċiklu tal-ħajja tal-pompa.
Effiċjenza tal-Enerġija:
Il-pompi bil-kamin niexef huma ddisinjati għall-effiċjenza fl-enerġija, u jgħinu lill-manifatturi tas-semikondutturi jnaqqsu l-konsum ġenerali tal-enerġija u l-ispejjeż operattivi tagħhom.
Medda Operattiva Wiesgħa:
Dawn il-pompi jistgħu joperaw fuq firxa wiesgħa ta 'pressjonijiet, li joffru flessibilità f'diversi proċessi ta' manifattura ta 'semikondutturi li jeħtieġu livelli ta' vakwu differenti.
Disinn kompatt:
Pompi bil-kamin niexfa tipikament għandhom disinn kompatt, li jippermetti integrazzjoni faċli f'tagħmir semikonduttur u jiffrankaw spazju ta 'art prezzjuż f'ambjenti ta' cleanroom.
Affidabilità:
Il-pompi bil-kamin niexef huma magħrufa għall-affidabbiltà u l-ħajja twila ta 'servizz tagħhom, li jipprovdu prestazzjoni konsistenti maż-żmien u jikkontribwixxu għall-effiċjenza ġenerali tal-operazzjonijiet tal-manifattura tas-semikondutturi.
Pompi tal-vakwu semikondutturi niexfa Inpower Qasam ta 'applikazzjoni:
Manifattura tas-Semikondutturi:
Pompi bil-kamin niexfa għandhom rwol kritiku f'diversi proċessi ta 'manifattura ta' semikondutturi, inkluża depożizzjoni kimika tal-fwar (CVD), depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD), impjantazzjoni tal-joni, inċiżjoni u sputtering. Jgħinu biex joħolqu u jżommu l-livelli ta' vakwu meħtieġa essenzjali għal dawn il-proċessi.
Depożizzjoni ta' Film irqiq:
F'tekniki ta 'depożizzjoni ta' film irqiq bħal sputtering u evaporazzjoni, pompi bil-kamin niexfa huma utilizzati biex jevakwaw il-kamra tal-proċess u jżommu l-kundizzjonijiet tal-vakwu meħtieġa għad-depożitu ta 'films irqaq fuq sottostrati.
Ipproċessar tal-wejfer:
Pompi bil-kamin niexef huma impjegati f'passi ta 'proċessar ta' wejfer bħal tindif, disinji u doping, fejn iż-żamma ta 'ambjent ta' vakwu nadif u niexef hija kruċjali biex jinkisbu riżultati preċiżi u affidabbli.
It-tags Popolari: pompi tal-vakwu ta 'semikondutturi niexfa, manifatturi ta' pompi tal-vakwu ta 'semikondutturi niexfa taċ-Ċina, fornituri, fabbrika
