It-teknoloġija tal-sputtering tal-Magnetron hija teknika importanti użata ħafna għall-modifika tal-wiċċ tal-materjal u d-depożizzjoni ta 'film irqiq. Bħala l-komponent ewlieni ta 'din it-teknoloġija, il-prestazzjoni u l-kwalità tal-miri ta' magnetron sputtering jaffettwaw direttament il-karatteristiċi u l-applikazzjonijiet tal-films irqaq ippreparati. Dan l-artikolu se jipprovdi introduzzjoni komprensiva u fil-fond għall-miri tal-magnetron sputtering, inklużi d-definizzjoni tagħhom, klassifikazzjoni, metodi ta 'preparazzjoni, rekwiżiti ta' prestazzjoni, oqsma ta 'applikazzjoni, u xejriet ta' żvilupp futuri.
Il-mira ta 'sputtering ta' magnetron tirreferi għal materjal li huwa sputtered b'atomi jew molekuli minn partiċelli ta 'enerġija għolja matul il-proċess ta' sputtering ta 'magnetron, u mbagħad iddepożitat fuq sottostrat biex jifforma film irqiq. Normalment ikun magħmul minn sustanzi b'kompożizzjonijiet kimiċi speċifiċi u strutturi tal-kristall, bħal metalli, ligi, komposti, eċċ.
Fluss tal-proċess tal-materjal fil-mira tal-sputtering:
Trab tal-materja prima - tidwib tat-trab - taħlit tat-trab - iffurmar bil-kompressjoni - sinterizzazzjoni tal-atmosfera - ipproċessar tal-plastik -trattament bis-sħana- ittestjar ultrasoniku - qtugħ ta 'l-ilma - ipproċessar mekkaniku - metallizzazzjoni - irbit - ittestjar ultrasoniku - tindif ultrasoniku - spezzjoni - ġarr.
It-tifsiriet speċifiċi tal-proċessi ewlenin huma kif ġej:
Tidwib tat-trab: wettaq sinterizzazzjoni preliminari tal-atmosfera fuq trab tal-materja prima u tikkontrolla l-kontenut tal-gass fit-trab tal-materja prima.
Taħlit tat-trab: Il-materjal fil-mira għandu formula unika li teħtieġ kontroll preċiż tal-kontenut ta 'kull komponent u limitazzjoni stretta tal-kontenut ta' impurità. Fil-proċess tal-metallurġija tat-trab, huwa meħtieġ li l-elementi kollha jitħalltu b'mod indaqs, b'distribuzzjoni uniformi tad-daqs tal-partiċelli biex tiġi evitata l-kontaminazzjoni, u biex tipprepara trab kompost imħallat permezz ta 'metodi ta' proċess speċjali.
Moulding ta 'kompressjoni: Il-materjal fil-mira ppreparat mill-proċess tal-metallurġija tat-trab jeħtieġ prepressing tal-materjal tat-trab biex jagħmilha korp aħdar ta' densità medja. L-uniformità tad-densità tagħha u d-difetti interni jaffettwaw ir-rendiment tas-sinterizzazzjoni f'temperatura għolja fl-istadju aktar tard.
Sinterizzazzjoni ta 'l-atmosfera: Il-korp aħdar ippressat minn qabel jeħtieġ li jgħaddi minn proċess wieħed jew aktar ta' sinterizzazzjoni f'temperatura għolja. Jintgħażlu kurvi tat-temperatura tas-sinterizzazzjoni differenti skont materjali differenti, u jintgħażlu ambjenti ta 'sinterizzazzjoni differenti bħall-atmosfera u l-pressjoni tas-sinterizzazzjoni biex jippreparaw korpi mmirati ta' densità għolja.
Ipproċessar tal-plastik: Ingotti tal-metall jeħtieġ li jgħaddu minn deformazzjoni plastika sinifikanti biex jiksbu dimensjonijiet suffiċjenti ta 'tul, wisa' u ħxuna, u biex jikkawżaw deformazzjoni tensili suffiċjenti tal-ħbub interni, u b'hekk jiġġeneraw biżżejjed dislokazzjonijiet ġewwa. Trattament bis-sħana: Wara li jgħaddu minn deformazzjoni plastika sinifikanti, l-ingotti tal-metall huma soġġetti għal proċessi ta 'trattament tas-sħana li jintgħażlu abbażi tal-karatteristiċi ta' materjali differenti, li jirriżultaw fir-rikristallizzazzjoni tal-materjal tal-metall u t-tneħħija ta 'stress interni.
Sejbien ta 'difetti ultrasoniku: Wara li l-vojt fil-mira jiġi pproċessat, mewġ ultrasoniku jeħtieġ li jintuża biex jispezzjona jekk hemmx difetti ġewwa l-materjal. Wara li l-vojt fil-mira jkun marbut mal-pjanċa ta 'wara, jeħtieġ li jintuża skaner ultrasoniku ta' immersjoni fl-ilma biex jiskopri s-saff tat-twaħħil u jiċċekkja jekk iż-żona tat-twaħħil tissodisfax l-istandard.
Ipproċessar mekkaniku: Il-vojt fil-mira jeħtieġ li jgħaddi minn proċessar ta 'formazzjoni mekkanika ta' preċiżjoni għall-pjanċa ta 'wara użata flimkien mal-vojt fil-mira. Minħabba l-koordinazzjoni preċiża mat-tagħmir tal-kisi u l-abbiltà li jiflaħ it-tkessiħ tal-ilma bi pressjoni għolja, jeħtieġ preċiżjoni dimensjonali estremament għolja u saħħa mekkanika. Id-diffikultà tal-ipproċessar hija għolja, speċjalment għall-pjanċa ta 'wara b'ċirkwit tal-ilma taċ-ċirkolazzjoni interna. Minħabba l-materjal speċjali, l-iwweldjar magħluq taċ-ċirkwit tal-ilma huwa diffiċli ħafna u jeħtieġ teknoloġija speċjali tal-iwweldjar.
Metalizzazzjoni: Qabel ma torbot il-vojt fil-mira mal-pjanċa ta 'wara, sabiex tissaħħaħ il-prestazzjoni tat-tixrib tal-materjal fil-mira u l-metall bejn il-materjal fil-mira u l-istann, huwa meħtieġ li jsir trattament minn qabel fuq il-wiċċ tat-twaħħil biex jiksiha b' saff ta' transizzjoni.
Irbit: Minħabba l-proprjetajiet fiżiċi jew kimiċi limitati tal-materjal, il-biċċa l-kbira tal-materjali fil-mira ma jistgħux jiġu installati u miksija direttament għall-użu. L-istann tal-metall huwa meħtieġ biex iwweldja u jgħaqqad il-vojt fil-mira mal-pjanċa ta 'wara, u r-rata effettiva tat-twaħħil tal-wiċċ jeħtieġ li tilħaq rata ta' wweldjar ta 'żona kbira ta' aktar minn 95%. Il-proċess kollu jeħtieġ li jitwettaq f'temperatura għolja u pressjoni għolja.
Klassifikazzjoni ta 'Magnetron Sputtering Target Materials
1. Materjali fil-mira tal-metall: inklużi materjali fil-mira tal-metall pur (bħal ram, aluminju, nikil, eċċ.) u materjali fil-mira tal-liga (bħal azzar li ma jissaddadx, liga tal-aluminju, eċċ.).
2. Materjali fil-mira komposti: bħal materjali fil-mira tal-ossidu (bħal dijossidu tas-silikon, ossidu tal-aluminju, eċċ.), materjali fil-mira tan-nitrur (bħal nitrur tas-silikon, nitrur tal-aluminju, eċċ.), materjali fil-mira tal-karbur (bħal karbur tas-silikon, tungstenu karbur, eċċ.), eċċ.
3. Materjali fil-mira semikondutturi: bħal materjali fil-mira tas-silikon, materjali fil-mira tal-ġermanju, eċċ.
Ikklassifikat skond l-istruttura tal-materjal fil-mira:
1. Materjal fil-mira ċatt: Għandu struttura planari sempliċi u huwa komunement użat f'tagħmir ta 'sputtering magnetron konvenzjonali.
2. Materjal fil-mira li jdur: Jista 'jikseb rotazzjoni kontinwa, ittejjeb ir-rata ta' utilizzazzjoni tal-materjal fil-mira u l-uniformità tal-film depożitat
Rekwiżiti ta' prestazzjoni għall-miri ta' magnetron sputtering:
(1) Purità
Materjali fil-mira ta 'purità għolja jistgħu jiżguraw il-purità u l-prestazzjoni ta' films irqaq depożitati. Ġeneralment, il-purità tal-materjal fil-mira hija meħtieġa li tkun 'il fuq minn 99.9%.
(2) Tnaqqis tad-densità
Materjali fil-mira ta 'densità għolja jistgħu jnaqqsu l-kontaminazzjoni tal-partiċelli waqt sputtering u jtejbu l-kwalità u l-uniformità ta' films irqaq.
(3) Uniformità tal-kompożizzjoni kimika
Il-kompożizzjoni kimika tal-materjal fil-mira għandha titqassam b'mod uniformi biex tiżgura l-istabbiltà tal-film depożitat.
(4) Struttura tal-kristall
Struttura tal-kristall adattata tgħin biex ittejjeb l-effiċjenza ta 'sputtering tal-materjal fil-mira u l-prestazzjoni tal-film irqiq.
(5) Preċiżjoni Dimensjonali u Forma
Id-daqs u l-forma tal-materjal fil-mira għandhom jissodisfaw ir-rekwiżiti tat-tagħmir biex jiżguraw installazzjoni tajba u effett sputtering.
(6) Stabbiltà termali
Matul il-proċess ta 'sputtering, il-materjal fil-mira huwa soġġett għal temperatura għolja u impatti ta' partiċelli ta 'enerġija għolja, u b'hekk jeħtieġu stabbiltà termali tajba.
(7) Reżistenza għall-korrużjoni
Il-materjal fil-mira għandu jkollu ċertu grad ta 'reżistenza għall-korrużjoni biex jestendi l-ħajja tas-servizz tiegħu.
Fil-preżent, bl-iżvilupp mgħaġġel ta 'industriji bħal informazzjoni elettronika u enerġija ġdida, id-domanda tas-suq għal miri ta' magnetron sputtering tkompli tikber. Il-miri tal-magnetron sputtering, bħala l-komponent ewlieni tat-teknoloġija tal-magnetron sputtering, għandhom prospetti wesgħin ta 'applikazzjoni fl-industrija moderna. Bl-avvanz kontinwu tat-teknoloġija u l-iżvilupp kontinwu tal-industriji, ir-rekwiżiti tal-prestazzjoni u l-kwalità għall-miri tal-magnetron sputtering se jkomplu jiżdiedu wkoll.
Prestazzjoni għolja: Bit-titjib kontinwu tar-rekwiżiti tal-prestazzjoni tal-film fl-oqsma tal-applikazzjoni, tressqu rekwiżiti ogħla għall-prestazzjoni ta 'miri ta' magnetron sputtering, bħal purità ogħla, densità, uniformità, eċċ.
Diversifikazzjoni: Bl-emerġenza kontinwa ta 'oqsma ta' applikazzjoni ġodda, it-tipi u r-rekwiżiti tal-prestazzjoni tal-miri tal-magnetron sputtering qed isiru wkoll aktar diversifikati, bħal miri ġodda ta 'materjal semikonduttur, miri komposti ġodda, eċċ.
