Pompi tal-vakwuhuma użati f'varjetà ta 'sistemi tal-vakwu, flimkien ma 'kmamar u metodi ta' tħaddim. F'xi każijiet, aktar minn pompa waħda (f'serje jew parallela) se tkun impjegata f'applikazzjoni waħda. Pompa ta 'spostament pożittiv li ġġorr tagħbija tal-gass minn port tad-dħul għal port tal-ħruġ (egżost) tista' tintuża biex tiġġenera vakwu parzjali, spiss magħruf bħala vakwu mhux maħdum. Pompi bħal dawn jistgħu jilħqu vakwu baxx biss minħabba r-restrizzjonijiet mekkaniċi tagħhom. Proċeduri oħra, ġeneralment f'sekwenza, għandhom sussegwentement jiġu utilizzati biex jipproduċu vakwu akbar (ġeneralment wara li tintuża pompa ta 'spostament negattiv biex tipproduċi vakwu mgħaġġel). Pompa tal-paletta rotanti ssiġillata biż-żejt (l-aktar pompa ta 'spostament pożittiva tipika) tista' tintuża biex tappoġġja pompa ta 'diffużjoni, jew pompa ta' scroll niexfa tista 'tintuża biex tappoġġja pompa turbomolekulari. Kombinazzjonijiet oħra jeżistu, skont is-saħħa tal-vakwu meħtieġa.
Vakwu għoli huwa diffiċli li jinkiseb minħabba li l-karatteristiċi tal-ħruġ tal-gass u tal-pressjoni tal-fwar tal-materjali kollha soġġetti għall-vakwu għandhom jiġu eżaminati bir-reqqa. Żjut, grassijiet, u gaskits tal-plastik jew tal-gomma użati bħala siġilli tal-kamra tal-vakwu, pereżempju, m'għandhomx jagħlqu meta jiġu kkuntattjati mal-vakwu; inkella, il-gassijiet prodotti jipprevjenu l-grad xieraq ta 'vakwu milli jinkiseb. L-uċuħ kollha esposti għall-vakwu għandhom spiss ikunu inkaljati f'temperatura għolja biex ikeċċu l-gassijiet assorbiti.
It-tnixxif qabel l-ippumpjar tal-vakwu jista 'jgħin ukoll biex jipprevjeni l-ħruġ tal-gass. Kmamar tal-metall b'siġilli tal-gasket tal-metall, bħal flanġijiet Klein jew flanġijiet ISO, huma aktar frekwenti f'siġilli tal-kamra tal-vakwu għolja minn gaskits tal-gomma, li huma aktar komuni f'għeluq tal-kamra tal-vakwu baxx. Is-sistema għandha tkun nadifa u nieqsa minn debris organiku biex tnaqqas l-outgassing. Il-materjali kollha, solidi jew likwidi, għandhom pressjoni tal-fwar baxxa, u meta l-pressjoni tal-vakwu tinżel taħt din il-pressjoni tal-fwar, l-outgassing isir kritiku. Bħala riżultat, ħafna materjali li jiffunzjonaw tajjeb f'vakwu baxx, bħall-epossi, jistgħu jkunu ħruġ ta' gass fi vojt ogħla. B'dawn is-salvagwardji fis-seħħ, vakwu ta' 1 mPa jistgħu jinkisbu b'varjetà ta' pompi molekulari. Huwa fattibbli li jinkiseb 1 µPa b'disinn u operazzjoni xierqa.
Pompi ta 'diversi tipi jistgħu jintużaw f'serje jew b'mod parallel. Pompa ta 'spostament pożittiv tkun użata biex telimina l-maġġoranza tal-gass minn kamra f'sekwenza standard pump down, li tibda fl-atmosfera (760 Torr, 101 kPa) u taħdem sa 25 Torr (3 kPa). Il-pressjoni mbagħad titnaqqas għal 104 Torr bl-użu ta 'pompa ta' sorption (10 mPa). Krijopompa jew pompa turbomolekulari tkun impjegata biex titnaqqas il-pressjoni għal 108 Torr (1 Pa). Taħt 106 Torr, pompa ta 'jone żejda tista' tinbeda biex tneħħi gassijiet li cryopomp jew pompa turbo ma jistgħux jimmaniġġjaw, bħal elju jew idroġenu.
Tagħmir mibni apposta, proċeduri operattivi stretti, u ammont ġust ta 'prova u żball spiss huma meħtieġa għal vakwu ultra għoli. Is-sistemi tal-vakwu tal-istainless steel bi flanġijiet tal-vakwu b'gasketed tal-metall huma l-aktar komuni. Biex tissaħħaħ temporanjament il-pressjoni tal-fwar tal-elementi kollha li joħorġu l-gass fis-sistema u għallihom, is-sistema normalment tkun moħmija, idealment taħt vakwu. Dan il-ħruġ tal-gass tas-sistema jista 'jsir ukoll f'temperatura tal-kamra jekk meħtieġ, għalkemm se jieħu ħafna aktar żmien. Is-sistema tista' titkessaħ biex tnaqqas il-pressjoni tal-fwar biex tnaqqas l-ħruġ tal-gass residwu waqt it-tħaddim reali ladarba l-biċċa l-kbira tal-materjali tal-ħruġ tal-gass ikunu ġew mgħollija u evakwati. In-nitroġenu likwidu jintuża biex ikessaħ xi sistemi fil-fond taħt it-temperatura tal-kamra sabiex iwaqqaf il-ħruġ tal-gass residwu filwaqt li jkessaħ is-sistema wkoll.
Xi mogħdijiet ta' tnixxija mhux tas-soltu u sorsi ta' ħruġ ta' gass iridu jiġu indirizzati f'sistemi ta' vakwu ultra-għoli. L-assorbiment ta 'l-ilma ta' l-aluminju u l-palladju jsir kawża intollerabbli ta 'outgassing, u anke metalli iebsin bħall-istainless steel u l-assorbiment tat-titanju għandhom jiġu indirizzati. Fil-vakwu severi, xi żjut u griżijiet se jagħli. Jista 'jkun meħtieġ li tiġi indirizzata l-porożità tal-ħitan metalliċi tal-kamra tal-vakwu u d-direzzjoni tal-qamħ tal-flanġijiet metalliċi.
L-influwenza tad-daqs tal-molekula għandha titqies. Molekuli iżgħar huma aktar faċli biex jnixxu u jassorbu minn materjali speċifiċi; għalhekk, pompi molekulari huma inqas effiċjenti biex ippumpjaw gassijiet b'piżijiet molekulari iżgħar. Għalkemm sistema tista 'tkun kapaċi tneħħi n-nitroġenu (il-komponent ewlieni ta' l-arja) fil-vakwu xieraq, l-idroġenu ambjentali u l-elju li jifdal jistgħu xorta jkunu preżenti fil-kamra. Kwistjonijiet ta 'outgassing jinqalgħu f'bastimenti miksija b'materjal permeabbli ħafna għall-gass bħal palladju (sponża ta' l-idroġenu ta 'kapaċità għolja).
