Pompa Booster Mekkanika tal-Vakwu Ultra Għolja
Pompi Booster Mechanical Vacuum Ultra High (UHV) (Roots Booster Pumps) iżidu l-fluss tal-gass f'sistemi ta' vakwu ta' pressjoni baxxa- fejn huma meħtieġa kapaċità għolja ta' ippumpjar u ħinijiet ta' waqfien rapidu tal-pompa-.
Jopera flimkien ma 'pompa ta' rinforz kompatibbli (bħal pompa tal-vakwu niexfa jew pompa li ddur tal-vane), il-booster juża azzjoni mekkanika ta 'spostament pożittiv- biex jittrasferixxi l-gass min-naħa tal-kamra għall-istadju ta' rinforz. Dan iżid b'mod sinifikanti l-veloċità effettiva tal-ippumpjar fil-medda ta' pressjoni ta' vakwu medja sa ultra-għolja.
Speċifikazzjonijiet Tekniċi
|
Parametru |
Speċifikazzjoni / Rekwiżit tal-Għażla |
Konsiderazzjonijiet ta' Inġinerija |
|
Tip ta' Prodott |
Pompa Booster Mekkanika UHV (Prinċipju ta' l-Għeruq) |
Booster ta'-spostament għoli-pożittiv ta' throughput |
|
Standards tal-ħanek |
ISO-K / ISO-F, Flanġijiet CF, jew Custom |
Magħżula abbażi tal-konduttanza u l-integrità tas-siġill UHV |
|
Firxa tal-Veloċità tal-Ippumpjar |
Dipendenti mill-mudell-(Irreferi għall-kurvi tal-prestazzjoni) |
Għandhom jiġu kkalkulati flimkien mal-konduttanza tal-linja tas-sistema |
|
Pressjoni Operattiva |
Vakwu Medju għal Vakwu Ultra Għoli (UHV) |
Irregolat mill-ippumpjar totali tal-ferrovija u l-ħruġ tal-gass tal-kamra |
|
Tqabbil tal-Pompa ta' Sostenn |
Pompa Niexfa, Vane Rotary, jew Pistin li jdur |
Il-kapaċità ta 'appoġġ għandha taqbel mal-fluss tal-iskariku tal-booster |
|
Pressjoni Differenzjali Max |
Mudell-limitu ta' pressjoni permissibbli speċifiku (Delta P max) |
Tipprevjeni tagħbija żejda termali u tensjoni mekkanika |
|
Vakwu-Materjali tal-Ġnub |
Stainless Steel, Ligi Ittrattati, Kisi Speċjali |
Rata baxxa ta 'outgassing u reżistenza kimika |
|
Konfigurazzjoni tas-siġillar |
Elastomeru (FKM/FFKM) jew Siġilli tal-metall (CF) |
Magħżula abbażi tar-rata tat-tnixxija tal-elju u l-limiti tal-bakeout |
|
Rata ta 'tnixxija tal-elju |
Sa 1 x 10^-10 mbar L/s |
Verifikat permezz ta' detector ta' tnixxija ta' spettrometru tal-massa |
Gwida għall-Għażla u l-Integrazzjoni
Biex tagħżel il-pompa tal-booster Roots korretta u tiżgura integrazzjoni bla xkiel fis-sistema tal-vakwu tiegħek, evalwa l-punti operattivi li ġejjin:
Veloċità tal-Ippumpjar u Pressjoni Mira:Ikkalkula l-veloċità effettiva tal-ippumpjar meħtieġa fid-daħla tal-kamra, filwaqt li tqis il-konduttanza tal-pajpijiet.
Tagħbija tal-Gass u Midja tal-Proċess:Identifika l-kompożizzjoni tal-gass tal-proċess, il-proprjetajiet korrużivi, il-partiċelli tat-trab, u r-rati ta 'outgassing tal-materjal.
Kompatibilità tal-Pompa ta' Sostenn:Kun żgur li l-pompa ta 'wara timmaniġġja l-volum ta' skariku mingħajr ma taqbeż il-pressjoni differenzjali massima permissibbli (Delta P max).
Interlocks Termali u tas-Sistema:Ikkonfigura swiċċijiet tal-pressjoni, drives ta 'frekwenza varjabbli (VFD), u interlocks tat-tkessiħ biex tevita tagħbija żejda mekkanika matul il-fażijiet ta' roughing.
Applikazzjonijiet Tipiċi
Semikondutturi u Elettronika:L-evakwazzjoni u l-immaniġġjar tal-gass tal-proċess għal għodod ta 'appoġġ għall-inċiżjoni, CVD u litografija li jeħtieġu kontaminazzjoni baxxa.
-Depożizzjoni u Kisi ta' Film irqiq:Iżomm pressjoni operattiva stabbli waqt proċessi ta' PVD, sputtering, u kisi ottiku b'rendiment għoli-.
Laboratorji tar-Riċerka:Prestazzjoni ta' vakwu ta'-affidabbiltà għolja għall-fiżika tal-partikuli, ix-xjenza tal-wiċċ, u l-kmamar tas-simulazzjoni spazjali.
Fran tal-vakwu u l-ipproċessar:Jittratta b'mod effiċjenti tagħbijiet ta' gass tqal waqt id-degassjar ta'-temperatura għolja, l-ibbrejżjar bil-vakwu, u t-trattament tas-sħana.
Kontroll tal-Kwalità u Dokumentazzjoni
L-affidabbiltà tal-UHV teħtieġ standards stretti ta’ manifattura u verifika:
Ipproċessar tal-kamra nadifa:Tindif ultrasoniku f'diversi-stadji, tneħħija tal-grass b'solvent, u ppakkjar-ħieles mit-trab biex jiġi żgurat ħruġ baxx ta' gass.
Ittestjar ta 'preċiżjoni:Ibbilanċjar dinamiku tar-rotor, verifika dimensjonali, u ttestjar tat-tnixxija tal-elju tal-ispettrometru tal-massa.
Dokumenti Riżultati:Mudell-kurvi speċifiċi tal-veloċità tal-ippumpjar, tpinġijiet tal-qosor CAD/STEP, specs elettriċi tal-mutur, ċertifikazzjonijiet tal-materjal, u rapporti tat-test tat-tnixxija.
FAQ
Q: X'inhi l-funzjoni primarja ta 'Pompa Booster Mekkanika tal-Vakwu Ultra Għolja?
A: Pompa Booster Mekkanika tal-Vakwu Ultra Għoli żżid il-veloċità effettiva tal-ippumpjar u l-fluss tal-gass f'sistemi ta' vakwu ta' pressjoni baxxa-. Jitrasferixxi l-gass mill-kamra tal-vakwu lejn pompa ta 'wara, li tippermetti evakwazzjoni mgħaġġla u prestazzjoni ogħla ta' pressjoni aħħarija.
Q: Pompa ta 'booster mekkanika ta' Roots tista 'topera b'mod indipendenti mingħajr pompa ta' rinforz?
A: Le Pompa booster mekkanika teħtieġ pompa ta 'rinforz adattata (bħal pompa niexfa jew pompa tal-vane li jdur) biex tarmi l-gass għall-pressjoni atmosferika.
Q: Għaliex għandi nevita li nagħżel pompa booster ibbażata biss fuq il-veloċità nominali tal-ippumpjar?
A: Il-veloċità nominali tal-ippumpjar tirrappreżenta spostament ideali mingħajr ma jitqies it-telf reali tas-sistema-dinja. Il-prestazzjoni attwali tiddependi fuq il-konduttanza tal-linja tal-vakwu-, il-kapaċità tal-pompa ta' rinforz, il-pressjoni operattiva, u t-tagħbija tal-gass tal-kamra.
Q: Kif nipprevjeni tagħbija żejda termali waqt it-tħaddim tal-pompa booster?
A: It-tagħbija żejda termali tiġi evitata billi tinżamm il-pressjoni operattiva fil-limitu differenzjali permissibbli (Delta P max). L-użu ta' valv ta' ħelsien tal-pressjoni, drive ta' frekwenza varjabbli (VFD), jew swiċċ tal-pressjoni biex jikkontrolla l-bidu tal-booster-up jipproteġi l-pompa minn tagħbijiet eċċessivi tal-gass.
Q: Liema prekawzjonijiet ta 'ndafa UHV jittieħdu waqt il-manifattura?
A: Għas-servizz UHV, il-komponenti tal-ġenb tal-vakwu-jgħaddu minn proċessi speċjalizzati ta 'tindif, bħal tneħħija tal-grass ultrasoniku, biex jeliminaw ir-residwi tal-idrokarburi.
It-tags Popolari: pompa booster mekkanika tal-vakwu ultra għolja, iċ-Ċina manifatturi tal-pompa booster mekkanika tal-vakwu ultra għolja, fornituri, fabbrika
